一种溶胶-凝胶薄膜气敏传感头制造方法

摘要

本发明公开了一种溶胶-凝胶薄膜气敏传感器制造方法，其制作步骤及方法是：(1)选择光纤光栅；(2)确定镀膜厚度；(3)光纤光栅包层涂膜；(4)制备多孔气敏薄膜；(5)传感头制作。本发明提供了一种小型化、高集成、可遥测的高灵敏溶胶-凝胶薄膜气敏传感器的制造方法，应用这种方法所制造的传感器，对检测气体具有很高的灵敏度，对膜层折射率的测量分辨率可高达10^-8，它集中了薄膜传感器和光纤光栅结构的优点，可广泛应用于光化学传感器中。