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溶胶-凝胶法制备SnO_2气敏薄膜的研究

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摘要

以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系 .

著录项

来源
《中山大学学报：自然科学版（中英文）》 |2001年第3期|56-59|共4页
作者
刘威; 曹立礼;
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作者单位

中山大学化学与化学工程学院;

清华大学化学系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;TN304.92;
关键词
溶胶-凝胶法; 传感器; 二氧化锡; 气敏薄膜;

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