溶胶--凝胶法制备V<,2>O<,5>薄膜的气敏特性研究

摘要

该文研究了用无机溶胶凝胶法制备的V<,2>O<,5>薄膜的XRD结果及其气敏特性。凝胶在400℃下烧结12小时后完全形成了V<,2>O<,5>晶体。掺3wt℅Pt的V<,2>O<,5>薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度。加热电压为5.5V时灵敏度达到最大值。该气敏薄膜具有较好的选择性，NH<,3>、H<,2>、CO、CH<,3>COCH3>等气体不干扰元件的测量。元件的响应时间为15s，恢复时为5s。