一种基于非水解溶胶-凝胶WO₃多孔薄膜的NO₂气敏元件及其制备方法

摘要

本发明属于半导体金属氧化物气敏元件技术领域，具体涉及一种基于非水解溶胶‑凝胶WO₃多孔薄膜的NO₂气敏元件及其制备方法。所述气敏元件主要由电极元件和均匀涂覆在电极元件上的WO₃多孔薄膜气敏层组成，所述WO₃多孔薄膜由WO₃纳米凝胶颗粒旋涂而成，所述WO₃纳米凝胶颗粒直径为20～60nm，所述WO₃为单斜晶体结构。本发明方法操作简单、反应易于控制、合成周期短，有效解决了传统制备方法成本高、合成周期长等缺点。通过该方法制备的气体气敏元件在工作温度100℃时获得对NO₂气体的最大灵敏度，响应和恢复时间短、选择性高，是具有良好发展前景的NO₂气敏元件。