低偏振高衍射效率金属反射浸没光栅及光学系统

摘要

本发明公开了一种低偏振高衍射效率金属反射浸没光栅及光学系统，包括：光栅层，光栅层包括多个阵列排布的第一槽体；介质层，其等厚度覆盖在光栅层表面，介质层的厚度小于光栅层的槽深，介质层表面形成第二槽体；金属反射层，其位于介质层远离光栅层的一侧，金属反射层的一侧填覆第二槽体；光栅层与介质层之间形成第一交界面，介质层与金属反射层之间形成第二交界面；入射光经光栅层的内部朝向第一交界面方向入射，并在第一交界面、介质层和第二交界面之间发生衍射效应以产生衍射光，衍射光经金属反射层反射并从光栅层的内部出射。其能实现低偏振和高衍射效率，降低制造工艺难度，在高分辨率大气探测领域具有重要的应用价值。