一种用于深紫外LED光抽取效率提高的铝铑纳米颗粒阵列的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于深紫外LED光抽取效率提高的铝铑纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：在深紫外LED表面沉积铝纳米颗粒阵列，在所述铝纳米颗粒阵列外进一步沉积有铑壳层。本发明方法制得铝铑核壳结构纳米颗粒阵列，纳米颗粒尺寸密度可调控，有利于制备电学/光电器件。采用铝纳米颗粒阵列+铑壳层的结构可在大幅提高器件光抽取效率的同时，增强器件稳定性并降低生产成本。同时，本制备方法条件简单，不需要复杂设备，在规模化工业生产中具有良好的应用前景。