公开/公告号CN110763163B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-17
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院西安光学精密机械研究所;
申请/专利号CN201911031650.1
申请日2019-10-28
分类号G01B11/26(20060101);
代理机构61211 西安智邦专利商标代理有限公司;
代理人屠沛
地址 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
入库时间 2022-08-23 11:21:56
机译: 利用共点检测器的距离测量方法和接近度测量仪中掩膜与工件之间距离的测量方法
机译: 采用线性图像检测阵列的平面激光照明和成像(PLIIM)设备具有垂直延伸的图像检测元素,而垂直延伸的图像检测元素的高度和图像的F /#尺寸则视参数而定检测的散斑图样通过空间平均的模式噪声功率
机译: 待检测物质的检测方法,待检测物质的检测器,深度位置测量方法和深度位置测量仪器