用于光刻设备的液滴发生器、EUV源和光刻设备

摘要

液滴发生器，诸如在EUV辐射源中使用，以及相关的EUV辐射源和光刻设备。液滴发生器可以包括用于发射燃料作为液滴的喷嘴组件，喷嘴组件处于与液滴发生器内的燃料压力基本上相同的压力下的加压环境内。液滴发生器可以包括致动器，致动器与泵室接触并且借助于偏置机构抵靠泵室被偏置，偏置机构具有抵靠致动器被偏置的致动器支撑件。致动器作用于泵室内的燃料以产生液滴。致动器支撑件具有与其周围结构相比具有更大的热膨胀系数的材料，使得其在环境温度下在周围结构内可移动，但是在操作温度下抵靠周围结构膨胀，以便在操作温度下将致动器支撑件抵靠周围结构夹紧。