基于图案化表面的皮升量级的超微量注射器及其制备方法

摘要

本发明公开了基于图案化表面的皮升数量级的注射器及其制备方法，属于材料科学技术领域，本发明的方法涉及光刻技术与等离子刻蚀方法结合制备硅片表面的微米图案化结构阵列，通过气相沉积技术对图案化结构进行表面修饰与玻璃微孔道结合进而用于超微量液体的获取。本发明的超微量注射器可以实现准确的连续的获取皮升数量级的多种液体，并且液体的获取过程具有很好的稳定性和重复性。通过与玻璃材质微孔道结合，避免了因小微米孔道坍塌而导致的皮升数量级液滴获取失败。超微量注射器中流体获取的实现依赖于对基底结构气液固三相线的调控，并且芯片由玻璃和硅材料制成，不存在由孔道塌陷对液体获取造成的误差，本发明的获取液体准确率高达98％以上。