公开/公告号CN109791251B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 瑞典爱立信有限公司;
申请/专利号CN201680089813.X
申请日2016-09-01
分类号G02B6/122(20060101);G02B6/14(20060101);G02B6/12(20060101);G02B6/124(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人付曼;杨美灵
地址 瑞典斯德哥尔摩
入库时间 2022-08-23 11:19:09
机译: 通过在光束模式中安装排队开关和光束模式转换器来控制或调节模式或光束尺寸的激光设备
机译: 使用多个刀口同时测量晶圆水平的多个光束的斑点尺寸的装置及其制造方法
机译: 多光束光学扫描设备的斑点尺寸焦点错误检测