首页> 中文期刊>半导体光电 >激光束斑点尺寸对汽相光淀积率的影响

激光束斑点尺寸对汽相光淀积率的影响

     

摘要

本文研究了汽相光淀积率对激光束斑点尺寸的依赖关系。结果表明,在激光功率保持不变时,如果淀积是由汽相分解引起,汽相光淀积率反比于束斑点尺寸ω_0。对汽相和物理吸附相混杂的光淀积,引入在激光束中心处的两种情况的淀积率此,即识别因子 r 和单分子层反应汽相和物理吸附相光吸收比,即励激因子 E_p,就能够区分汽相和物理吸附相光淀积各自发生的斑点尺寸范围ω_0。以上理论由Krchnavek 等人的光淀积实验得到验证。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号