公开/公告号CN111223782B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201911174463.9
申请日2019-11-26
分类号H01L21/34(20060101);H01L29/78(20060101);H01L29/06(20060101);
代理机构31233 上海泰能知识产权代理事务所;
代理人宋缨
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 11:17:47
机译: 垂直结构的氧化镓半导体电子器件及其制造方法
机译: 氧化镓垂直结构的半导体电子器件及其制造方法
机译: 具有P型铝阻挡层的常关型氧化镓基垂直晶体管