一种以柯恩达效应为原理的GaN防气体冲击装置

摘要

一种以柯恩达效应为原理的GaN防气体冲击装置，包括固定板，所述固定板的上表面固定安装有两个相对称的固定架，两个相对称的固定架之间活动安装有转筒，转筒的外表面开设有风槽，所述转筒的两端均固定安装有卡块。通过转筒、风槽、卡块、连接块与转轴的配合使用，可以有效的将激光在剥离GaN的过程中，利用柯恩达效应原理，将气流都分散到转筒的表面，保证了激光剥离工艺过程中产生的气体不会直接冲击GaN薄膜，对GaN薄膜具有一定的保护作用，同时，由于气流被分散到转筒的外表面，可以有效的保证由激光剥离工艺过程中产生的高温，给予降温，保证了GaN薄膜的使用寿命。