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基于陶瓷基片表面制备Ti-Al-Ru-N纳米硬质薄膜的方法

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本发明公开了基于陶瓷基片表面制备Ti‑Al‑Ru‑N纳米硬质薄膜的方法，本发明的Ti‑Al‑Ru‑N硬质纳米结构薄膜由Ti‑Al‑Ru‑N固溶体及弥散分布的单质Ru构成。采用高纯Ti靶，Al靶和Ru靶共焦射频反应溅射，沉积在高速钢等硬质合金或陶瓷基体上，Ti‑Al‑Ru‑N硬质纳米结构薄膜的厚度为2~3μm。这种硬质涂层能够获得27.68GPa的高硬度，兼具优异的摩擦磨损性能，室温干切削实验下，其摩擦系数为0.4521。

著录项

公开/公告号CN109267025B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-09

原文格式PDF
申请/专利权人江苏科技大学;
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申请/专利号CN201811367950.2
发明设计人鞠洪博;贾沛;许俊华;喻利花;
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申请日2018-11-16
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/02(20060101);C23C14/14(20060101);
代理机构32243 南京正联知识产权代理有限公司;
代理人王素琴
地址 212003 江苏省镇江市梦溪路2号
入库时间 2022-08-23 11:16:25

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