在多层图形间测量重叠误差的重叠测量标记和方法

摘要

一种在半导体器件的多层图形间测量重叠误差的重叠测量标记和方法。用第一掩模在划片线第一选择部分上形成由两个平行且隔开的图形组成的第一重叠测量图形，用第二掩模在划片线第二选择部分上形成由两个平行且隔开的图形组成的第二重叠测量图形使其不重叠于第一重叠测量图形。用第三掩模在划片线部位的第一和第二重叠测量图形内侧中心形成第三重叠标测量图形。测量第一与第三重叠测量图形间的距离和第二与第三重叠测量图形间的距离。