公开/公告号CN107621552B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院理化技术研究所;
申请/专利号CN201610557668.5
申请日2016-07-15
分类号G01Q30/02(20100101);
代理机构11257 北京正理专利代理有限公司;
代理人张文祎;段俊峰
地址 100190 北京市海淀区中关村东路29号
入库时间 2022-08-23 11:15:38
机译: 用于扫描近场光学显微镜的悬臂及其制造以及用于扫描近场光学显微镜的悬臂
机译: 用于扫描型探针显微镜的悬臂模块,用于扫描其的扫描型探针显微镜的悬臂支架以及用于扫描型探针显微镜的悬臂支架
机译: 用于执行近场光学显微镜的光学显微镜的检查单元,具有保持装置和近场探针,所述近场探针通过用激发光照射来产生光学近场,以进行样本研究