一种飞秒激光加工形态参数时间分辨共焦测量方法及装置

摘要

本发明涉及一种飞秒激光加工形态参数时间分辨共焦测量方法及装置，属于飞秒激光加工在线检测领域。本发明利用连续激光共焦光路对材料表面进行轴向精确定位，利用飞秒激光对材料进行加工，利用不同延迟时间的飞秒激光对材料的形态参数进行探测，使用共焦光路探测该不同延迟时间的飞秒激光反射信号，对该信号解调得到轴向位置。重复上述“连续激光共焦定位‑飞秒激光加工‑延迟飞秒激光共焦探测”过程，能够获得飞秒激光加工中材料的轴向去除量随时间的变化量，实现飞秒激光高精度加工材料形态参数的时间分辨测量，提高飞秒激光加工的可控性和样品的加工质量，对于提高飞秒加工精度、加工质量和加工过程的可控性具有重要意义。