基于OFDR的硅基波导背反射传感装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于OFDR的硅基波导背反射传感装置及其测量方法。装置包括可调谐激光器、触发干涉仪、光纤环形器、偏振控制与分束模块、测量干涉仪、耦合传感模块、高速采集模块和计算机。可调谐激光器发出扫频激光，偏振控制与分束模块控制扫频激光的偏振态并将其分束，第一路光进入触发干涉仪并产生第一拍频信号作为外部时钟；第二路光进入全保偏的测量干涉仪，第三路光经过光纤环形器与耦合传感模块生成背反射信号光，背反射信号光与第二路光干涉产生第二拍频信号，高速采集模块和计算机对第二拍频信号进行解调并得出位置信息。本发明通过快速、方便的非侵入式测量，可以精确测量硅基波导的光束部分长度和光束在硅基波导中的传播质量。