一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置及成像方法

摘要

一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置及成像方法，该技术基于太赫兹波在金属探针上以表面等离激元形式传输至探针针尖处形成远小于太赫兹波长尺寸的太赫兹光斑，在针尖末端近场区域内放置待成像样品，针尖与样品的近场区域内设置垂直度检测模块以及近场距离反馈模块，样品固定于二维电控平移台以在针尖末端进行扫描成像，样品之后放置太赫兹探测器用来探测待成像样品每一个扫描点处透射的太赫兹强度信号，将待成像样品上每一个扫描点处的太赫兹信号强度采集并关联绘图，即可实现样品在太赫兹波段内的超分辨成像，成像分辨率取决于针尖末端尺寸与扫描步进位移，最高分辨率可达纳米量级。