预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法

摘要

本发明揭示了一种预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法，镜头模组用于曝光设备，镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于镜头安装底板上，曝光设备包括底座、平行设置于底座上的两个支架、连接两个支架的横梁以及镜头模组，镜头模组安装于横梁上。本发明提出了一种可独立预调整的镜头模组，后续再将预调整之后的镜头模组组装至曝光设备中，可大大降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。