公开/公告号CN110310996B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-08
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社FLOSFIA;
申请/专利号CN201910634597.8
申请日2015-03-30
分类号H01L29/78(20060101);H01L29/06(20060101);H01L29/10(20060101);H01L29/24(20060101);H01L29/04(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/34(20060101);
代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人文哲;康泉
地址 日本京都
入库时间 2022-08-23 11:12:49
机译: PZT膜层叠结构体,液体排出头,液体排出装置,液体排出装置以及PZT膜层叠结构体的制造方法
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