公开/公告号CN108914091B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-01
原文格式PDF
申请/专利权人 成都极星等离子科技有限公司;
申请/专利号CN201810908038.7
申请日2018-08-10
分类号C23C16/513(20060101);C23C16/26(20060101);
代理机构51269 成都乐易联创专利代理有限公司;
代理人高炜丽
地址 610000 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林路西段618号
入库时间 2022-08-23 11:12:16
机译: 离子源,例如阳极层离子源,例如真空镀膜,阴极排列,发射间隙具有无限的基本形状,该形状叠加了横向子结构,从而扩大了发射间隙的细长长度
机译: 线性阳极层狭缝离子源
机译: 阳极层离子源和离子束溅射沉积模块