一种氢原子钝化方法及氢原子钝化装置

摘要

本发明公开了一种氢原子钝化方法，在将待钝化材料置于腔室中后，会通过预设的过滤板对包括有氢原子的第一混合体进行过滤，过滤所得的第二混合体中的氢原子浓度需要高于预先生成的第一混合体中氢原子浓度。之后在通过第二混合体对待钝化材料进行钝化，由于氢原子可以有效的与待钝化材料中的悬挂键、结构缺陷等复合中心相结合，从而减少待钝化材料中的复合中心的数量，增强待钝化材料的钝化效果。同时通过过滤板将第一混合体过滤成第二混合体时，可以有效降低其扩散时的移动速度，从而有效减少第二混合体对待钝化材料表面的轰击效果，增加对待钝化材料的钝化效果。本发明还提供了一种氢原子钝化装置，同样具有上述有益效果。