公开/公告号CN100396593C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-06-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN200510011988.2
申请日2005-06-23
分类号B81C1/00(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 09:00:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B81C 1/00 授权公告日:20080625 终止日期:20160623 申请日:20050623
专利权的终止
2009-09-02
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090724 申请日:20050623
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
2009-09-02
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20090724 申请日:20050623
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
2008-06-25
授权
授权
2008-06-25
授权
授权
2007-02-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-02-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-12-27
公开
公开
2006-12-27
公开
公开
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