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曹娜; 刘卫国; 蔡长龙;
西安工业大学微光电系统研究所,西安710021;
红外探测; 双材料微悬臂梁; 制备工艺; 氮化硅薄膜;
机译:基于双材料微悬臂梁的红外探测器的设计及其制造工艺研究
机译:双材料微悬臂梁检测到的棕色脂肪细胞的温度变化
机译:弯曲双材料微悬臂梁的热敏性分析
机译:双材料微悬臂梁阵列红外FPA的开发
机译:先进的材料集成和加热的微悬臂梁和微悬臂梁阵列的热运行。
机译:热双压电晶片微悬臂梁阵列量热法检测含能材料的数值模拟与实验验证 - 挥发性有机化合物(VOCs)传感蒸汽的案例研究
机译:双材料微悬臂梁作为混合传感平台。
机译:光学微悬臂梁,其制造方法以及光学微悬臂梁支架
机译:光学微悬臂梁及其制造方法和光学微悬臂梁支架
机译:光学微悬臂梁,其制造方法以及光学微悬臂梁保持器
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