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寻之宇; 张卫平; 周岁; 欧彬;
微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系;
压电驱动器; 一体双驱; 对称; 微机电系统; 悬臂梁式;
机译:关于使用双压电晶片悬臂梁进行非对称传感和驱动的压电换能器的机电
机译:基于压电双压电晶片微悬臂梁的宽范围压力传感器
机译:内部实验装置研究基于双微悬臂梁的静电微驱动器的动态驱动
机译:压电双压电晶片微悬臂梁:新型气压传感器
机译:具有固态和蜂窝基底的双压电晶片悬臂梁的几何参数和材料特性的设计优化,可最大程度地获取能量。
机译:用于静态模式传感的Au / Si3N4双压电晶片微悬臂梁的设计和电热机械行为分析
机译:用于检测超小吸附质谱的自感式压电微悬臂梁生物传感器:理论与实验
机译:压电ZnO薄膜的表征及压电微悬臂梁的制作
机译:对称双压电叠层微机电压电悬臂梁能量收集器
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