加热曝气系统、刻蚀系统及加热曝气系统的控制方法

摘要

本发明提供了加热曝气系统、刻蚀系统及加热曝气系统的控制方法。该加热曝气系统包括：曝气子系统、控制子系统和加热子系统；控制子系统与加热子系统电连接，用于实时监测加热子系统中气体的温度值，并根据该温度值控制加热子系统调节该气体的温度，使该气体的温度达到指定数值；加热子系统与曝气子系统相连，用于当加热子系统中气体的温度达到该指定数值时，将该气体输入至曝气子系统。通过将加热的气体输入至气泡装置中，使得气泡装置中附着在孔周围的沉淀物随着温度的升高而加速溶解，从而减少孔周围的沉淀物；加热使得附着在孔周围的胶体能量升高，使得胶体颗粒之间的碰撞机会随之增加，破坏了胶体的稳定性，降低了胶体吸附孔的能力。