一种透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置

摘要

本发明公开了一种透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置。本发明包括深紫外条纹投影系统和深紫外成像系统，其中深紫外条纹投影系统包括宽谱深紫外LED光源、窄带紫外波段滤波片、准直扩束系统、一维深紫外横向剪切光栅及扩束镜组，且宽谱深紫外LED光源和窄带紫外波段滤波片构成紫外光源单元；深紫外成像系统由成像透镜和深紫外CCD组成。本发明对透明材质的曲面玻璃表面三维轮廓实现高精度形变检测，克服了传统可见结构光光源穿透透明材质混淆上下表面形貌形变的弊端，避免数字曝光正弦光栅产生的锯齿状条纹带来的误差，实现了对大尺寸曲面玻璃三维轮廓的精确重构。