公开/公告号CN100409414C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-08-06
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申请/专利权人 优利讯美国有限公司;
申请/专利号CN03819460.0
申请日2003-08-13
分类号H01L21/311(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人钟强;谷惠敏
地址 美国佛罗里达州
入库时间 2022-08-23 09:00:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-08-06
授权
授权
2005-11-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-28
公开
公开
机译: 用于将汽化的液态相源稳定地供应到反应室中的源气供应设备,包括该设备的CVD系统,使用该设备控制源气体流率的方法以及使用该系统的薄膜形成方法
机译: 用于控制可变气体混合物的流量的设备,用于校正通过管道的可变气体混合物的流量的设备,用于将气体组合物供应和循环到医疗设备的设备,控制不同比例的气体混合物的流量的方法通过其中具有调节器的导管,用于提供具有所需成分的气体成分的医疗设备的方法,该成分包括受控可变比例的第一气体和第二气体,用于体外血液处理的方法,使用体积流量计,方法用于向医疗器械提供具有不同比例的氙和氧气的气体成分的装置以及用于控制通过导管的气体流速的设备
机译: 通过所供应的当前气体源,改进了通过umida净化气体的设备以及从气流中去除二氧化硫的方法。