公开/公告号CN100409009C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-08-06
原文格式PDF
申请/专利号CN200510027030.2
申请日2005-06-22
分类号G01N30/88(20060101);G01N30/02(20060101);
代理机构31113 上海浦东良风专利代理有限责任公司;
代理人张惠明
地址 100029 北京市朝阳区惠新东街甲6号
入库时间 2022-08-23 09:00:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-08-29
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 30/88 授权公告日:20080806 终止日期:20110622 申请日:20050622
专利权的终止
2008-08-06
授权
授权
2007-02-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-12-27
公开
公开
机译: 一种使用FTIR气体分析仪和混合气体供给装置在气体方向前方沉积薄层的方法。
机译: 从混合气体中生产至少一种含气体组分的方法和装置
机译: 从混合气体中生产至少一种含气体组分的方法和装置