用于电化学机械抛光的导电抛光部件

摘要

提供一种用于平面化衬底表面的制造部件和装置。在一个方案中，提供一种制造部件，用于对衬底进行抛光，其包括主体，该主体具有适于对衬底进行抛光的至少部分导电表面和安装表面。多个穿孔形成在抛光部件中，用于使材料流过。在另一方案中，用于抛光衬底的抛光部件包括具有抛光表面的主体和置于其中的导电元件。导电元件可具有延伸到由抛光表面限定的平面以外的接触表面。抛光表面可具有形成在其中的一个或多个槽。导电元件可设置在每个抛光槽中。