公开/公告号CN106783547B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 东莞市中镓半导体科技有限公司;
申请/专利号CN201611256276.1
申请日2016-12-30
分类号
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司;
代理人罗晓林
地址 523000 广东省东莞市企石镇东平科技工业园
入库时间 2022-08-23 11:10:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
授权
授权
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20161230
实质审查的生效
2017-05-31
公开
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