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公开/公告号CN105590881B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201510736705.4
发明设计人 K·杰纳基拉曼;A·B·马利克;H·K·波内坎蒂;M·斯里拉姆;A·T·迪莫斯;M·斯里尼瓦桑;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯;D·R·杜波依斯;
申请日2015-11-03
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人黄嵩泉
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:10:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
授权
2017-11-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20151103
实质审查的生效
2016-05-18
公开
机译: 包含隔离区域的处理系统,隔离区域将沉积腔室与处理腔室分隔开
机译: 处理系统,包括从处理腔室中分离出沉积腔室的隔离区域
机译: 包含隔离区域的处理系统,该隔离区域将沉积室与处理室分隔开
机译:新颖的腔室硬件设计,通过3D全腔室建模和实验视觉技术的开发,可提高12英寸(300毫米)和18英寸(450毫米)晶圆的薄膜沉积质量
机译:EB-PVD TBC沉积在多晶锭涂层腔室中固定平面上的晶体结构与腔室位置的关系
机译:LDA通过矩形腔室的矩形腔室测量和数值模拟,其中包含垂直圆柱热源的矩形室
机译:一种计算机程序,用于分析包含除气材料的腔室和通风口的总体布置。
机译:颅内前循环动脉瘤的非对比增强沉默扫描MR血管造影用低型材可视化腔室支撑装置处理
机译:包含在短圆柱形腔室中的涡流中的速度分量和径向压力分布的实验曲线