微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法

摘要

一种微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法，是由如下过程完成的：1.采集被测物表面干涉图，得到被测物表面初始轮廓图；2.确定被测物的基准平面；3.进行坐标系旋转，使新坐标系的XOY平面与基准平面平行，重构被测物表面3D轮廓。确定被测物的基准平面，是使用最小二乘法确定调平表面轮廓的基准平面，包括有最小二乘中线法和面内最小二乘法。本发明计算量小，使用简单，处理效率高；最大限度地避免了轮廓的变形；不仅可用于相移显微干涉系统的测量应用中，也可以用于其他测量MEMS/NEMS表面3D轮廓的技术的图像处理中；可以根据不同应用的需求，选择不同的面作为基准，得到不同视角的表面三维轮廓信息，运用灵活。