一种带位置和流量复合反馈功能的先导式比例流量阀

摘要

本发明涉及一种带位置和流量复合反馈功能的先导式比例流量阀，包括先导阀和主阀，先导阀包括控制器和先导阀模块，主阀包括阀体、阀芯、左端盖、右端盖及弹簧；先导阀的先导阀控制口与主阀的主阀控制口相连通，主阀的主阀控制口与主阀的右控制腔相连通，主阀上设置用于测量工作口流量的热式流量传感器，主阀内设置有用于测量阀芯位移的位移传感器；先导阀控制口的压力与输入信号之间呈第一非线性特性关系，主阀控制口的压力与阀口开度之间呈线性关系，阀口开度与输出气体流量之间呈第二非线性特性关系；将输出气体流量和输入信号校正形成线性关系，将数值固化到控制器中。优点在于：适用于气体流量控制，控制精度高，稳定性好，响应速度快。