一种带位置反馈功能的先导式比例流量阀

摘要

本发明涉及一种带位置反馈功能的先导式比例流量阀，包括相连通的先导阀和主阀，先导阀包括控制器和先导阀模块；主阀包括阀体、阀芯、左端盖、右端盖以及弹簧；先导阀的先导阀控制口与主阀的主阀控制口相连通，主阀的主阀控制口与主阀的右控制腔相连通，主阀内设置有用于测量阀芯位移的位移传感器；先导阀的先导阀控制口的压力与输入信号之间呈第一非线性特性关系，主阀的主阀控制口的压力与主阀的阀口开度之间呈线性关系，主阀的阀口开度与输出气体流量之间呈第二非线性特性关系；将输出气体流量和输入信号校正形成线性关系，将中间变量先导阀控制口的压力值固化到控制器中。其优点在于：结构合理，适用气体流量控制，稳定性好，响应速度快。