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一种批量测试DOE衍射效率和均匀性的方法及装置

摘要

本发明公开一种批量测试DOE衍射效率和均匀性的方法及装置,包括:拍摄测量光经DOE产生的衍射光斑图;计算所述衍射光斑图内每个光斑的灰度值G;测试所述衍射光斑图内各光斑的衍射功率P和入射测量光的总功率P0;更换不同的DOE,根据各DOE中某一光斑对应的灰度值G和衍射功率P,计算确定该该光斑的最佳功率校正系数α;后续其他DOE的批量测试,则直接根据机器视觉拍摄得到衍射光斑图来计算得到每个光斑的灰度值G,再乘以各自的最佳功率校正系数α,得到每个衍射光斑的功率值,根据这些功率值可以直接计算得出所测试DOE的衍射效率和均匀性。

著录项

  • 公开/公告号CN109813533B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-08-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市安思疆科技有限公司;

    申请/专利号CN201910137417.5

  • 发明设计人 何海祥;陈驰;蒋建华;

    申请日2019-02-25

  • 分类号

  • 代理机构杭州天勤知识产权代理有限公司;

  • 代理人胡红娟

  • 地址 518055 广东省深圳市南山区西丽街道清华信息港科研楼107-A12

  • 入库时间 2022-08-23 11:09:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-11

    授权

    授权

  • 2019-06-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20190225

    实质审查的生效

  • 2019-05-28

    公开

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