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用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练

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摘要

本申请涉及用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练。描述了用于基于库的临界尺寸(CD)计量的精确神经网络训练的方法。还描述了用于基于库的临界尺寸(CD)计量的快速神经网络训练的方法。

1. 用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练 [P] . 中国专利： CN107092958B . 2020.08.11
2. 用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练 [P] . 中国专利： CN103403724B . 2016.11.09
3. ACCURATE AND FAST NEURAL NETWORK TRAINING FOR LIBRARY-BASED CRITICAL DIMENSIONCD METROLOGY [P] . 韩国专利： KR101958161B1 . 2019-03-13

机译：基于库的关键尺寸CD计量学的快速准确的神经网络训练
4. ACCURATE AND FAST NEURAL NETWORK TRAINING FOR LIBRARY-BASED CRITICAL DIMENSIONCD METROLOGY [P] . 韩国专利： KR101992500B1 . 2019-06-24

机译：基于库的关键尺寸CD计量学的快速准确的神经网络训练
5. ACCURATE AND FAST NEURAL NETWORK TRAINING FOR LIBRARY-BASED CRITICAL DIMENSIONCD METROLOGY [P] . 韩国专利： KR20180125056A . 2018-11-21

机译：基于库的关键尺寸CD计量学的快速准确的神经网络训练