首页> 中国专利> 一种电磁激励的无线QCM-D多频时分复用气相检测虚拟阵列系统及方法

一种电磁激励的无线QCM-D多频时分复用气相检测虚拟阵列系统及方法

摘要

本发明公开了一种电磁激励的无线QCM‑D多频时分复用气相检测虚拟阵列系统及方法,属于气相检测领域,包括放置在气相检测腔室内底壁中部的石英晶振片、设置在气相检测腔室底部外侧的激励线圈和接收线圈、用于产生驱动信号的信号发生器、将驱动信号传输至用于匹配激励线圈阻抗的阻抗匹配网络、将接收线圈中的检测电信号进行滤波放大处理的多频段窄带放大滤波电路以及运行在电脑上的控制虚拟阵列系统多频点切换工作的实验控制器;接收线圈接收石英晶振片产生的交变电磁场中的检测电信号;气相检测腔室连接有气体流量控制器,用于控制进入气相检测腔室内的氮气流速,维持气体流速在期望的恒定值。

著录项

  • 公开/公告号CN110441182B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-08-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江大学;

    申请/专利号CN201910780076.3

  • 发明设计人 胡瑞芬;苏雪飞;陈达奇;

    申请日2019-08-22

  • 分类号G01N5/00(20060101);

  • 代理机构33224 杭州天勤知识产权代理有限公司;

  • 代理人胡红娟

  • 地址 310013 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

  • 入库时间 2022-08-23 11:08:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-04

    授权

    授权

  • 2019-12-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N5/00 申请日:20190822

    实质审查的生效

  • 2019-11-12

    公开

    公开

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