法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
授权
授权
2018-10-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/10 申请日:20180510
实质审查的生效
2018-10-02
公开
公开
机译: 用于收集物体轮廓线的三角扫描仪,具有扫描转子,该扫描转子包括偏转镜,该偏转镜将来自光源的光线偏转到物体,接收器是二维光学位置传感器。
机译: 光束偏转装置用于二维扫描仪,具有可调的偏转元件和旋转对称镜,用于将偏转点成像到目标点上
机译: 模式例如掩模,用于目标工件的书写装置,具有偏转板,该偏转板基于电子束照射时间使带电粒子的电子束偏转,并且具有用于阻止电子束逐板偏转的孔径