一种减小激光聚焦光斑尺寸的方法及装置

摘要

本发明公开了一种减小激光聚焦光斑尺寸的方法及装置，方法包括：对入射激光束进行分光操作，使得入射激光束发生空间色散并形成具有同心圆结构的色散光束，且色散光束中不同波长的光分布在不同半径的圆环上；将色散光束转换为平行的环形光束；将环形光束转换为径向偏振光束；对径向偏振光束进行聚焦，得到用于激光加工的聚焦光斑；装置包括：分光单元、第一透镜、径向偏振单元以及第二透镜。本发明能够同时从横向和纵向两个维度有效减小激光聚焦光斑的尺寸，从而有效提高激光加工的精度。