用于对平面物体进行非均匀地冷却的装置、方法和系统

摘要

根据本发明的装置用于对平面物体(2)进行不均匀地冷却，该平面物体具有第一主面(200)和与其相对的第二主面(202)。在此，通过冷却装置(1)从第一主面的方向冷却平面物体。在第二主面上，加热机构(4)局部地作用在第一分面(204)上，使得平面物体在该第一分面上相对于与该第一分面相邻的第二分面(206)被加载热，使得该第一分面比第二分面更慢地冷却，并因此使得平面物体的第二主面在冷却过程期间至少在冷却的部分时段中具有不均匀的温度分布。