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机译:平面平衡磁控管阴极的冷却增强
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机译:空心阴极平面溅射磁控管中氮原子的能量分布
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机译:使用RF平面磁控管溅射制备碲化镉和硫化镉薄膜。
机译:银掺杂对射频磁控共溅射系统制备ZnO薄膜的影响
机译:中空阴极平面溅射磁控管中的氮原子能量分布
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机译:旋转磁控溅射装置,溅射方法和冷却方法
机译:磁控溅射阴极,包括阴极的溅射装置,利用溅射装置的溅射膜沉积方法
机译:磁控溅射阴极,包括阴极的溅射装置以及使用该溅射装置的溅射膜沉积方法
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