基于裂纹阵列结构的柔性压力传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于裂纹阵列结构的柔性压力传感器及其制备方法，所述柔性压力传感器，包括，由上而下依次排列的：柔性上盖、上柔性基底、上导电层、下导电层、下柔性基底和柔性下盖；所述上柔性基底与所述上导电层相对的一面具有裂纹阵列反结构；所述下柔性基底与所述下导电层相对的一面具有裂纹阵列结构；所述上导电层设有上电极，所述下导电层设有下电极；所述上电极和所述下电极不相交。所述柔性上盖、上柔性基底、下柔性基底和柔性下盖均采用柔性材料。上述柔性压力传感器通利用在外部压力作用下柔性基底表面裂纹阵列结构与裂纹阵列反结构接触面积变化来改变电阻的特性，从而提高灵敏度与可靠性。