一种基于褶皱与裂纹结构的柔性压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于褶皱与裂纹结构的柔性压力传感器及其制备方法，包括基体和附着于基体上的导电层，基体上有裂纹结构和两级褶皱结构，所述两级褶皱结构的尺度为纳米级和微米级，裂纹结构垂直于褶皱结构，基体为聚二甲基硅氧烷固化体薄片，导电层采用纯金属，导电层面对面贴合或导电层上贴合一层基体；同一传感器可以实现三种不同工作模式，使用者可以根据应用场景需求选择不同使用模式：褶皱结构主导模式，裂纹结构和褶皱结构共同主导模式，裂纹结构主导模式，可探测声波、震动等微弱信号；裂纹结构和褶皱结构共同主导模式具有适中灵敏度和压力探测范围，可实现人体全尺度生理信号的检测；裂纹结构主导模式则具有极大的压力探测范围。