一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法

摘要

本发明公开了一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法，该方法利用硬质透光材料对聚合物进行固定，通过硬质透光材料与基底材料的对准和键合，进而实现聚合物与基底材料的对准键合，避免了由于聚合物的材料本身引起的对准键合不精确的问题，提高了键合的对准精度。工艺简单，提高了键合的效率。