一种流化床制备TiN、TiC、TiCN涂层的系统及方法

摘要

本发明公开了一种流化床制备TiN、TiC、TiCN涂层的系统及方法。在预反应流化床内含钛粉体原料经过预处理后并转移到沉积流化床内，随后在沉积流化床内的基体上均匀沉积TiN、TiC、TiCN涂层。本发明制备TiN、TiC、TiCN涂层具有以下优势：(1)由于流化床工艺良好的传热、传质特性，实现了预处理过程的定向还原和精确控制，高效地获得了有效前驱体；(2)显著降低了以价格低廉的TiCl