在逻辑及热点检验中使用Z层上下文来改善灵敏度及抑制干扰的系统及方法

摘要

本发明揭示用于从晶片的缺陷扫描去除干扰数据的系统及方法。处理器接收具有一或多个z层的对应于晶片的设计文件。所述处理器接收所述晶片的临界区域且指示子系统捕获所述晶片的对应图像。接收缺陷位置且对准所述设计文件与所述缺陷位置。使用潜在缺陷位置及所述所对准设计文件的所述一或多个z层来识别干扰数据。所述处理器接着从所述一或多个潜在缺陷位置去除所述所识别干扰数据。