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用于转移微发光二极管的转移头以及转移方法

摘要

本发明提供了一种用于转移微发光二极管的转移头以及转移方法。所述转移头包括:抓取部,由记忆合金形成,包括指状部分;温度控制元件,被构造为连接到抓取部,且控制抓取部的温度。根据所要转移的微发光二极管,所述指状部分被构造为:在第一温度下舒展,足以与微发光二极管分离;在第二温度下收缩,足以抓取微发光二极管。

著录项

  • 公开/公告号CN108198773B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-07-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;

    申请/专利号CN201711488568.2

  • 发明设计人 赵芬利;

    申请日2017-12-29

  • 分类号H01L21/67(20060101);H01L21/687(20060101);H01L33/00(20100101);

  • 代理机构44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司;

  • 代理人孙伟峰;武岑飞

  • 地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

  • 入库时间 2022-08-23 11:05:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-17

    授权

    授权

  • 2018-07-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20171229

    实质审查的生效

  • 2018-06-22

    公开

    公开

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