一种基于光学微腔的全解耦环形微陀螺仪及其加工方法

摘要

本发明公开了一种基于光学微腔的全解耦环形微陀螺仪及其加工方法，微陀螺仪由上至下包括盖帽和晶圆，所述晶圆包括上层的器件层和下层的衬底层，器件层设有若干电极、谐振子、第一光学微腔、第二光学微腔、第一光波导和第二光波导，所述电极与谐振子内壁相邻，构成电容，第一光波导和第二光波导对称分布于谐振子两侧，第一光学微腔和第二光学微腔分别与第一光波导和第二光波导相邻，且第一光学微腔和第二光学微腔均与谐振子相连。本发明采用光学检测方案，相比传统的微机电陀螺仪，该陀螺仪的可靠性和测量精度都可以达到一个更高的水平。